マスフローコントローラ 3665 KN33130483

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マスフローコントローラ 3665 KN33130483

マスフローコントローラ 3665 KN33130483

標準価格 ¥135,000 (税込¥148,500 )
販売価格 ¥128,250 (税込 ¥141,075)
商品コード KN33130483
納期 約1ヵ月
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●スタンダードモデル
●※コード番号をご指定の後、流量を併せてご連絡下さい。 ●※価格は標準製作品についてのものであり、細部仕様により価格が変わることがあります。 ●※本製品は受注生産品につき、ご注文後のキャンセルや返品はお受けできませんのでご注意下さい。

特徴

●定電流温度差検出方式の流量センサを搭載した高速応答のマスフローコントローラです。
●安全方向動作のノーマリークローズバルブを採用しています。

仕様

流量レンジ30SLM~50SLM(任意に選択)
センサ方式熱式巻線センサ
バルブ方式比例ソレノイドバルブ(非通電時
制御範囲5~100%(FS)
応答性3sec以内(within±2%FS)
精度±1.5%FS(25℃)
温度係数±0.2%FS/℃(15~35℃)
再現性±0.5%FS
耐圧980kPa(G)
リークレート1×10-8Pa・m3/s以下(He
使用環境温度:5~45℃ 湿度:10~90%RH(結露なきこと)
接ガス部材質ボディ SUS316 SUS316L 磁性ステンレス
接ガス部材質バルブシート FKM(オプション
接ガス部材質シール材 FKM(オプション
電気接続Dsub9ピンKFC Standard(SEMI
流量出力信号0~5VDC(外部負荷抵抗250kΩ以上)
所要電源+15VDC(±5%)100mA -15VDC(±5%)250mA
継手(本体口径)標準 3/8F900(9/16-18UNF) オプション 1/2F900相当 3/8UJR相当 Rc3/8等
重量約1500g
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