マスフローコントローラ 3660 3660-1/4SW-Air-10SCCM-20℃ KN33710790

商品番号：KN33710790

納期：別途御見積

マスフローコントローラ 3660 3660-1/4SW-Air-10SCCM-20℃ KN33710790

商品名	マスフローコントローラ 3660 3660-1/4SW-Air-10SCCM-20℃ KN33710790
商品コード	KN33710790
税別標準価格	109,200円（税込 120,120円）
税別販売価格	104,000円（税込 114,400円）

商品名：マスフローコントローラ 3660 3660-1/4SW-Air-10SCCM-20℃ KN33710790
●定電流温度差検出方式の流量センサを搭載した高速応答のマスフローコントローラです。 ●安全方向動作のノーマリークローズバルブを採用しています。
●流体 Air ●最大流量 10SCCM ●継手 1/4SWL ●センサ方式熱式巻線センサ ●バルブ方式比例ソレノイドバルブ（非通電時閉） ●制御範囲 2～100％（FS） ●応答性 2sec以内（within±2%FS） ●精度 ±1.0％FS（25℃） ●温度係数 ±0.1%FS/℃（15～35℃） ●再現性 ±0.5％FS ●耐圧 980kPa（G） ●リークレート 1×10－8Pa・m3/s以下（He 透過含まず） ●使用環境温度：5～45℃　湿度：10～90％RH（結露なきこと） ●接ガス部材質ボディ　SUS316　SUS316L　磁性ステンレス ●接ガス部材質バルブシート　FKM（オプション CR or NBR） ●接ガス部材質シール材　FKM（オプション CR or NBR） ●電気接続 Dsub9ピンKFC　Standard（SEMI Standard準拠） ●流量出力信号 0～5VDC（外部負荷抵抗250kΩ以上） ●所要電源＋15VDC(±5％)100mA　－15VDC(±5％)250mA ●重量約1000g
●スタンダードモデル ●スタンダードモデル

特徴

●定電流温度差検出方式の流量センサを搭載した高速応答のマスフローコントローラです。 ●安全方向動作のノーマリークローズバルブを採用しています。

仕様

●流体 Air ●最大流量 10SCCM ●継手 1/4SWL ●センサ方式熱式巻線センサ ●バルブ方式比例ソレノイドバルブ（非通電時閉） ●制御範囲 2～100％（FS） ●応答性 2sec以内（within±2%FS） ●精度 ±1.0％FS（25℃） ●温度係数 ±0.1%FS/℃（15～35℃） ●再現性 ±0.5％FS ●耐圧 980kPa（G） ●リークレート 1×10－8Pa・m3/s以下（He 透過含まず） ●使用環境温度：5～45℃　湿度：10～90％RH（結露なきこと） ●接ガス部材質ボディ　SUS316　SUS316L　磁性ステンレス ●接ガス部材質バルブシート　FKM（オプション CR or NBR） ●接ガス部材質シール材　FKM（オプション CR or NBR） ●電気接続 Dsub9ピンKFC　Standard（SEMI Standard準拠） ●流量出力信号 0～5VDC（外部負荷抵抗250kΩ以上） ●所要電源＋15VDC(±5％)100mA　－15VDC(±5％)250mA ●重量約1000g