マスフローコントローラ SEC-E40MK3-10LM-4IS-N2 KN33700024

商品番号：KN33700024

納期：別途御見積

マスフローコントローラ SEC-E40MK3-10LM-4IS-N2 KN33700024

商品名	マスフローコントローラ SEC-E40MK3-10LM-4IS-N2 KN33700024
商品コード	KN33700024
税別標準価格	99,500円（税込 109,450円）
税別販売価格	97,600円（税込 107,360円）

商品名：マスフローコントローラ SEC-E40MK3-10LM-4IS-N2 KN33700024
●小型で軽量、単電源DC24V駆動のマスフローメータです。 ●表示器一体型で、瞬時・積算流量表示や、ガス種の切替等が簡単操作で行なえます。 ●RS-485通信機能を標準装備しています。
●流量レンジ 10/50/100/500SCCM　1/5/10/20SLM　（任意に選択） ●センサ方式熱式巻線センサ ●指定可能ガス N2（Air，H2，He，Ar，O2，CO2他/　CF換算による切替） ●応答性 2秒以内 ●精度 ±1.0％FS（25℃） ●温度係数 ±0.2％FS/℃（15～35℃） ※200SLMのみ±0.4％FS/℃ ●再現性 ±0.2％FS ●耐圧 980kPa（G） ●使用環境温度：5～50℃　湿度：10～90％RH（結露なきこと） ●接ガス部材質 SUS316　SUS316L　PTFE　FKM（オプション　NBR　CRP） ●電気接続 DCジャック　または　Dsub9ピンオス ●通信 RS-485（MODBUSプロトコル　RTUモード）ID：1-247 ●出力 NPN　オープンコレクタ出力2点 ●所要電源 24VDC±10％（リップル5％）　消費電流100mA以下 ●継手(本体口径) 1/4F900（標準）　オプション　Rc1/4、1/4UJR、3/8F9、3/8UJR　※流量レンジ100SLM以上は3/8F9または3/8UJR限定となります。 ●重量約600g(継手含まず)
●微少流量から大流量まで対応

特徴

●気体の正確な質量流量制御が可能です。 ●流量設定値まで1秒以内の高速応答です。 ●高信頼性のサーマルセンサやソレノイドバルブを搭載しています。 ●オートゼロアジャスト機能を搭載しています。

仕様

●フルスケール流量 10LM ●対応ガス種 N2，O2，AIR，H2，Ar，He ●流量精度 ±1％FS(精度保証範囲：15～35℃) ●応答速度 1秒以内(T98) ●流量制御範囲 2～100％FS ●標準継手 1/4　Swagelok ●バルブ非通電時　閉 ●制御範囲 2～100％FS ●精度 ±1％FS(精度保証範囲：15～35℃) ●直線性 ±0.5％FS ●繰り返し性 ±0.2％FS ●リークレート 1×10－10Pa・m3/s以下（He） ●流量出力信号 0～5VDC（最小負荷抵抗2kΩ）　0～100％FS