マスフローコントローラ SEC-E40MK3-100CCM-4IS-N2 KN33700021

商品番号：KN33700021

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マスフローコントローラ SEC-E40MK3-100CCM-4IS-N2 KN33700021

商品名	マスフローコントローラ SEC-E40MK3-100CCM-4IS-N2 KN33700021
商品コード	KN33700021
税別標準価格	99,500円（税込 109,450円）
税別販売価格	97,600円（税込 107,360円）

商品名：マスフローコントローラ SEC-E40MK3-100CCM-4IS-N2 KN33700021
●圧力損失が少なく、高安定なローコスト流量計です。 ●小型化を実現しているため機器組込スペースを取りません。 ●流量制御が可能なニードルバルブを組合わせています。供給圧力により4種類のニードルバルブの中から最適なものを選定します。
●全長 124mm ●材質 SUS304 ●最大流量 1～20L/min
●微少流量から大流量まで対応

特徴

●気体の正確な質量流量制御が可能です。 ●流量設定値まで1秒以内の高速応答です。 ●高信頼性のサーマルセンサやソレノイドバルブを搭載しています。 ●オートゼロアジャスト機能を搭載しています。

仕様

●フルスケール流量 100CCM ●対応ガス種 N2，O2，AIR，H2，Ar，He ●流量精度 ±1％FS(精度保証範囲：15～35℃) ●応答速度 1秒以内(T98) ●流量制御範囲 2～100％FS ●標準継手 1/4　Swagelok ●バルブ非通電時　閉 ●制御範囲 2～100％FS ●精度 ±1％FS(精度保証範囲：15～35℃) ●直線性 ±0.5％FS ●繰り返し性 ±0.2％FS ●リークレート 1×10－10Pa・m3/s以下（He） ●流量出力信号 0～5VDC（最小負荷抵抗2kΩ）　0～100％FS