マスフローコントローラ 3665-2 KN33130484

商品名： マスフローコントローラ 3665-2 KN33130484
●圧力損失が少なく、高安定なローコスト流量計です。 ●小型化を実現しているため機器組込スペースを取りません。 ●流量制御が可能なニードルバルブを組合わせています。供給圧力により4種類のニードルバルブの中から最適なものを選定します。
●全長 104mm ●材質 SUS304 ●最大流量 1～20L/min
●スタンダードモデル

特徴

●定電流温度差検出方式の流量センサを搭載した高速応答のマスフローコントローラです。 ●安全方向動作のノーマリークローズバルブを採用しています。

仕様

●流量レンジ 60SLM～100SLM（任意に選択） ●センサ方式 熱式巻線センサ ●バルブ方式 比例ソレノイドバルブ（非通電時 閉） ●制御範囲 5～100％（FS） ●応答性 3sec以内（within±2%FS） ●精度 ±1.5％FS（25℃） ●温度係数 ±0.2%FS/℃（15～35℃） ●再現性 ±0.5％FS ●耐圧 980kPa（G） ●リークレート 1×10－8Pa・m3/s以下（He 透過含まず） ●使用環境 温度：5～45℃　湿度：10～90％RH（結露なきこと） ●接ガス部材質 ボディ　SUS316　SUS316L　磁性ステンレス ●接ガス部材質 バルブシート　FKM（オプション CR or NBR） ●接ガス部材質 シール材　FKM（オプション CR or NBR） ●電気接続 Dsub9ピンKFC　Standard（SEMI Standard準拠） ●流量出力信号 0～5VDC（外部負荷抵抗250kΩ以上） ●所要電源 ＋15VDC(±5％)100mA　－15VDC(±5％)250mA ●継手(本体口径) 標準　3/8F900（9/16-18UNF）　オプション　1/2F900相当　3/8UJR相当　Rc3/8等 ●重量 約1500g

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